虚拟仿真在光刻工艺实验教学中的应用
作者：汪家奇
单位：大连理工大学微电子学院
光刻是集成电路加工的关键工艺,决定了集成电路发展的趋势。光刻机被誉为世界上最精密的设备。按照工作原理,光刻机可以分为接触式、接近式和投影式光刻机。国内高校普遍采用接触式和接近式光刻机作为实验教学的重点,而工业上使用投影式光刻机。投影式光刻机非常昂贵,而且集成电路工厂不允许参观,为此将三维建模,动画演示为主要手段的虚拟仿真技术引入到投影式光刻机的实验教学之中。通过这种方式,在课堂上生动的展现出投影式光刻机及其导轨的结构、工作过程等内容,授课反响良好。
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198-200
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